在半导体制造工艺中，精密的光学控制和遮光操作对设备性能与晶圆加工质量至关重要。遮光孔挡片作为关键执行部件，需在微米级精度下实现快速、可靠的位置切换，以控制光线通过或阻断。传统传动方案可能因结构复杂、响应滞后或定位偏差引发机构碰撞、噪声及可靠性下降。本文结合具体客户案例，介绍一体式步进电机在半导体设备遮光孔挡片中的高效应用，重点阐述其如何通过精简化设计、高精度定位与智能控制策略，解决实际运行中的位置···